Bơm hút chân không cao nào tốt nhất cho ứng dụng PVD ?

Lắng đọng hơi vật lý (PVD) và các loại lắng đọng màng mỏng khác yêu cầu buồng chân không để tạo lớp phủ màng mỏng. Chân không được tạo ra khi buồng phủ được hút chân không, và tất cả các phân tử không khí và các khí khác được hút chân không khỏi hệ thống. Nếu các phân tử này không được khử đến mức chấp nhận được sẽ làm giảm chất lượng và độ bền của màng mỏng. Thế nào là "chấp nhận được" hoàn toàn phụ thuộc vào những gì bạn đang cố gửi.

Đầu tiên, một máy bơm cơ học, hoạt động ở chế độ dòng chảy thủy động lực học, hút gần như tất cả các phân tử không khí, cho đến khi áp suất đủ thấp để chuyển sang chế độ dòng chảy phân tử . Tại thời điểm đó, bơm chân không cao sẽ loại bỏ hơi còn lại. Có một số loại tùy chọn bơm chân không cao, với các lợi ích khác nhau tùy thuộc vào nhu cầu hệ thống cụ thể của bạn.

NHỮNG CÂN NHẮC CHÍNH KHI CHỌN MÁY BƠM

Có năm yếu tố chính bạn cần xem xét khi chọn một máy bơm chân không cao để lắng đọng màng mỏng:

Sạch sẽ: Sạch sẽ là một trong những yếu tố quan trọng nhất liên quan đến hiệu suất. Nếu không có nó, máy bơm có thể gây ra sự tích tụ các chất gây ô nhiễm trong hệ thống của bạn, chẳng hạn như dầu, ảnh hưởng đến độ tin cậy và chất lượng màng mỏng.

Tốc độ hút chân không : Điều này đề cập đến tốc độ mà máy bơm có thể bơm xuống buồng và loại bỏ hoàn toàn tất cả các phân tử không khí và khí. Thông thường, tốc độ bơm nhanh hơn có nghĩa là loại máy bơm đó có thể hỗ trợ sản lượng cao hơn vì không mất nhiều thời gian để bơm xuống. Điều này đặc biệt quan trọng trong các hệ thống hàng loạt được bơm từ khí quyển xuống sau mỗi lần chạy.

Tốc độ hút ẩm trong buồng : Khi khoang đang được bơm xuống, hiện tượng thoát khí xảy ra, với các phân tử nước thoát ra khỏi thành và kẽ hở của hệ thống. Những phân tử nước này cần được bơm ra hiệu quả như các phân tử khí. Tốc độ hút ẩm của bạn quyết định áp suất thấp nhất bạn có thể đạt được trong một hệ thống chân không cao. Lưu ý rằng có những cân nhắc và mối quan tâm khác nhau đối với độ chân không cuối cùng trong hệ thống chân không siêu cao.

Chu kỳ bảo trì phòng ngừa: Bạn sẽ cần nghĩ đến tần suất máy bơm của bạn sẽ cần bảo trì phòng ngừa và liệu những lần gián đoạn dịch vụ này có ảnh hưởng lớn đến khả năng sản xuất của bạn hay không. Một chu kỳ bảo trì thường xuyên có thể đáng giá nếu có các lợi ích về hiệu suất, nhưng nó cũng sẽ làm giảm thời gian hoạt động của hệ thống. Nếu ứng dụng của bạn yêu cầu sản lượng xuất xưởng cao, bạn có thể không thực hiện được sự đánh đổi đó.

Chi phí: Chi phí đầu tư ban đầu rất quan trọng cần xem xét, nhưng các yếu tố chính khác như chi phí sở hữu. Nếu chi phí sở hữu của bạn sẽ thấp hơn đáng kể đối với hệ thống tổng thể và các nhu cầu dành riêng cho ứng dụng của bạn, thì bạn sẽ muốn xem xét kỹ tùy chọn bơm đó, thay vì chỉ tập trung vào chi phí trả trước để mua.

CÁC LOẠI MÁY BƠM

Có ba loại máy bơm lắng đọng hơi vật lý chính : Cryo pump , turbo pump , và khuếch tán. Cả ba đều có những lợi ích và hạn chế riêng, và loại máy bơm bạn chọn sẽ phụ thuộc phần lớn vào các yêu cầu quy trình cụ thể của bạn dựa trên những cân nhắc ở trên.

Cryo pump : Loại hệ thống này hoạt động bằng cách bẫy các phân tử như hơi nước, chất khí, dầu và các chất khác lên bề mặt lạnh của máy bơm, làm đông lạnh chúng ra khỏi buồng chân không một cách hiệu quả. Máy bơm đông lạnh có thể đạt được mức chân không và áp suất tốt nhất, làm cho chúng trở thành lựa chọn tốt nhất để hút hơi ẩm nhanh chóng. Tuy nhiên, chúng là loại máy bơm đắt nhất và yêu cầu chu kỳ bảo dưỡng  thường xuyên.

Máy bơm turbo phân tử : Máy bơm turbo phân tử  sử dụng rôto quạt để va chạm với các phân tử khí từ buồng và về phía khí thải của máy bơm để tạo chân không bên trong hệ thống. Loại máy bơm này có tốc độ bơm rất nhanh và chúng rất đáng tin cậy, vì vậy chúng không yêu cầu chu kỳ bảo dưỡng thường xuyên. Đây cũng là loại bơm ưa thích cho các quá trình phản ứng. Máy bơm turbo phân tử không phải là lựa chọn tốt nhất để bơm các phân tử nước, vì vậy nếu đó là nhu cầu quan trọng của quy trình, thì tốt nhất bạn nên xem xét một loại máy bơm khác. Chúng thường không cung cấp mức chân không thấp như máy bơm cryo, nhưng rẻ hơn đáng kể. Mức chân không cơ sở có thể được cải thiện bằng cách thêm một máy bơm cryo, nhưng điều đó phủ nhận lợi thế về chi phí.

Bơm khuếch tán: Bơm khuếch tán hoạt động bằng cách làm nóng và đun sôi dầu, sau đó nén hơi dầu qua một hình nón để hơi dầu thoát ra dưới dạng “phun” khi di chuyển lên trên. Hơi dầu sau đó va chạm với các phân tử không khí bên trong buồng và bẫy chúng vào thành máy bơm. Máy bơm khuếch tán thường là loại rẻ nhất và chúng là một lựa chọn tốt để bơm khí heli hoặc hydro. Chúng có xu hướng để lại dầu bên trong hệ thống, vì vậy độ sạch sẽ là một nhược điểm lớn. Cty An Tài Lộc là đại diện chính thức thương hiệu bơm Edwards tại Việt Nam.

Khi mua hàng hoặc sử dụng dịch vụ của chúng tôi quý khách sẽ được những lợi ích sau :

-        Máy bơm , phụ tùng , dầu chân không , đầu đo chân không chính hãng Edwards

-        Dịch vụ sửa chữa bảo trì chuyên nghiệp, các kỹ sư nhiều kinh nghiệm và được đào tạo tập huấn từ nhà sản xuất.

-        Thời gian giao hành nhanh chóng ( đối với những máy bơm , phụ tùng bơm phổ thông tại thị trường Việt Nam chúng tôi luôn lưu trữ một lượng hàng vừa đủ để đáp ứng những nhu cầu cấp thiết của khách hàng.

-        Mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ :

-        Hotline : 9815 933 355  Email : suachuabomhutchankhong@gmail.com