Các nguyên nhân phổ biến nhất gây ra sự cố vỡ bộ phận của hệ thống chân không là sự bắt lửa của các vật liệu dễ cháy hoặc sự tắc nghẽn hoặc hạn chế của ống xả máy bơm. Để tránh những nguy hiểm, bạn nên chú ý những điều sau để đảm bảo hoạt động an toàn cho hệ thống và máy bơm chân không của bạn.

Đảm bảo rằng nồng độ của các vật liệu dễ cháy trong hệ thống chân không không cho phép chúng đi vào vùng dễ cháy (môi trường dễ cháy nổ). Trong quá trình vận hành, cần có nguồn cung cấp khí trơ phù hợp để đạt được độ pha loãng đến mức an toàn trong tất cả các điều kiện vận hành và chế độ hỏng hóc có thể dự đoán trước.

 Đảm bảo rằng không thể xảy ra tắc nghẽn khí thải trong quá trình vận hành, do các bộ phận cơ học (ví dụ, van hoặc khoảng trống) hoặc do các vật liệu chế biến hoặc các sản phẩm phụ đọng lại trong đường ống, bộ lọc và các bộ phận khí thải khác.

Chỉ sử dụng dầu PFPE (perfluoropolyether) để bôi trơn các cơ cấu bơm tiếp xúc với nồng độ oxy cao hoặc các chất oxy hóa khác. Các loại dầu khác được bán là "không dễ cháy" có thể chỉ thích hợp để sử dụng với nồng độ chất oxy hóa lên đến 30% vv.

Đảm bảo rằng không thể xảy ra tình trạng quá áp suất ngẫu nhiên của hệ thống chân không được đóng và cô lập có chủ ý; ví dụ, do lỗi trong bộ điều chỉnh áp suất hoặc hệ thống kiểm soát thanh lọc.

Trong trường hợp sản phẩm được ứng dụng trong môi trường nhiều hơi nước , nên sử dụng vật liệu làm mát không phải nước (ví dụ, chất lỏng truyền nhiệt) trong mạch làm mát. Hãy tham khảo ý kiến ​​của Edwards để được tư vấn