Distributor Edwards in Vietnam
Bơm hút chân không khô Edwards iXH 100
Edwards iXH 100 là dòng máy bơm khô mới được chế tạo cho sản xuất thân thiện với môi trường và xử lý các quy trình hóa học khắc nghiệt. Sử dụng năng lượng rất thấp, cơ chế roost hiệu quả đã được phát triển để giảm đáng kể công suất đầu vào xuống còn 1,3 kW, thấp hơn 60% so với thế hệ máy bơm khô trước đây, giảm tác động môi trường và giảm chi phí sở hữu. Công nghệ rào cản khí và cải tiến thiết kế nhiệt cho phép khả năng chống ăn mòn cao gấp bốn lần so với sản phẩm iH Series. Các tính năng xử lý bột tiên tiến có nghĩa là iXH sẽ mang lại độ tin cậy tối đa và tuổi thọ bơm kéo dài cho các quy trình ăn mòn nhiều lớp và giảm mức tiêu thụ điện năng cho các quy trình CVD, đặc biệt là với Hóa chất HARSH.
Máy bơm sê-ri Edwards iXH 100 được thiết kế nhỏ gọn và trọng lượng nhẹ, với tiếng ồn và độ rung đặc biệt thấp, làm cho iXH trở thành máy bơm khô hóa chất linh hoạt nhất trong dòng sản phẩm Edwards. iXH sẽ thay đổi kỳ vọng của bạn về công nghệ bơm chân không khô, mang lại lợi ích thực sự và tăng thời gian hoạt động, với tác động môi trường tối thiểu. Máy bơm iXH được thiết kế để sử dụng trong hầu hết các quy trình bán dẫn đồng thời giúp giảm đáng kể công suất đầu vào.
Tính năng và lợi ích iXH100
Chủ yếu cho các ứng dụng hóa học khắc nghiệt.
Lưu lượng 100 m3/h-1 (59 CFM)
Độ chân không tối đa 1,5 X 10-2 Torr
Ít phải bảo trì phòng ngừa
Chỉ có máy bơm chính ( Không có bơm tăng áp )
Ống nước nối nhanh 3/8 inch
Kết nối điện & nước
Hệ thống làm mát bằng nước SS
Mô-đun khí đa chế độ 44 slm
APPLICATIONS:
Load Lock
Transfer
Meteorology
Lithography
Physical Vapor Deposition PVD Process
Physical Vapor Deposition PVD Pre-clean
Rapid Thermal Anneal RTA
Strip/Ashing
Etching
Implant Source
High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition HDP CVD
Rapid Thermal Processing RTP
Sub-Atmospheric Chemical Vapor Deposition SACVD
Tungsten Chemical Vapor Deposition WCVD
Modified Chemical-Vapor Deposition MCVD
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD
Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD
Bơm chân không khô Edwards Drystar GV80 A70216934 Bơm chân không khô Edwards Drystar 80 được cấu hình để dễ lắp đặt và...
Bơm cuộn mXDS Edwards đang mở rộng danh mục máy bơm khô cỡ nhỏ của chúng tôi. mXDS3 tiếp tục trải nghiệm bơm cuộn...
Bơm hút chân không khô cánh dạng móng vuốt nEDC300
Máy bơm chân không trục vít khô EDS 300 P/N : A41830945 Một tiêu chuẩn mới trong thị trường vít khô Một cỗ máy thay đổi...
Bơm chân không trục vít khô Edwards, dòng EXS Lưu lượng lớn hiệu suất cao phù hợp cho các ứng dụng công nghiệp khắc...
Chứng nhận ATEX / Chứng nhận bằng chứng cháy nổ CXS được chứng nhận ATEX, với độ an toàn trong xây dựng và khả...
Khi bạn làm việc trong các ứng dụng quan trọng, bạn cần một máy bơm đáng tin cậy. Máy bơm CDX100 là một cỗ máy...
Máy bơm chân không EDP được kiểm soát nhiệt độ cho các điều kiện hoạt động tối ưu - nóng cho các ứng dụng ăn...
Thiết kế nhỏ gọn. Tối ưu hóa không gian của bạn! Được thiết kế với kích thước phù hợp, kích thước nhỏ gọn...