Bơm hút chân không khô Edwards iXH 100

Mã sản phẩm: Edwards iXH 100
Giá: Liên hệ
655

Chia sẻ với bạn bè

 Bơm hút chân không khô Edwards iXH 100

Edwards iXH 100 là dòng máy bơm khô mới được chế tạo cho sản xuất thân thiện với môi trường và xử lý các quy trình hóa học khắc nghiệt. Sử dụng năng lượng rất thấp, cơ chế roost hiệu quả đã được phát triển để giảm đáng kể công suất đầu vào xuống còn 1,3 kW, thấp hơn 60% so với thế hệ máy bơm khô trước đây, giảm tác động môi trường và giảm chi phí sở hữu. Công nghệ rào cản khí và cải tiến thiết kế nhiệt cho phép khả năng chống ăn mòn cao gấp bốn lần so với sản phẩm iH Series. Các tính năng xử lý bột tiên tiến có nghĩa là iXH sẽ mang lại độ tin cậy tối đa và tuổi thọ bơm kéo dài cho các quy trình ăn mòn nhiều lớp và giảm mức tiêu thụ điện năng cho các quy trình CVD, đặc biệt là với Hóa chất HARSH.

Máy bơm sê-ri Edwards iXH 100 được thiết kế nhỏ gọn và trọng lượng nhẹ, với tiếng ồn và độ rung đặc biệt thấp, làm cho iXH trở thành máy bơm khô hóa chất linh hoạt nhất trong dòng sản phẩm Edwards. iXH sẽ thay đổi kỳ vọng của bạn về công nghệ bơm chân không khô, mang lại lợi ích thực sự và tăng thời gian hoạt động, với tác động môi trường tối thiểu. Máy bơm iXH được thiết kế để sử dụng trong hầu hết các quy trình bán dẫn đồng thời giúp giảm đáng kể công suất đầu vào.

 

Tính năng và lợi ích iXH100

Chủ yếu cho các ứng dụng hóa học khắc nghiệt.

Lưu lượng 100 m3/h-1 (59 CFM)

Độ chân không tối đa 1,5 X 10-2 Torr

Ít phải bảo trì phòng ngừa

Chỉ có máy bơm chính ( Không có bơm tăng áp )

Ống nước  nối nhanh 3/8 inch

Kết nối điện & nước

Hệ thống làm mát bằng nước SS

Mô-đun khí đa chế độ 44 slm

APPLICATIONS:

Load Lock

Transfer

Meteorology

Lithography

Physical Vapor Deposition PVD Process

Physical Vapor Deposition PVD Pre-clean

Rapid Thermal Anneal RTA

Strip/Ashing

Etching

Implant Source

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition HDP CVD

Rapid Thermal Processing RTP

Sub-Atmospheric Chemical Vapor Deposition SACVD

Tungsten Chemical Vapor Deposition WCVD

Modified Chemical-Vapor Deposition MCVD

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD

Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD

Bơm chân không khô Edwards Drystar GV80 A70216934

Mã sản phẩm: GV80 A70216934
Bơm chân không khô Edwards Drystar GV80     A70216934

Bơm chân không khô Edwards Drystar GV80 A70216934 Bơm chân không khô Edwards Drystar 80 được cấu hình để dễ lắp đặt và...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 184

Bơm cuộn mXDS

Mã sản phẩm: mXDS3
Bơm cuộn mXDS

Bơm cuộn mXDS Edwards đang mở rộng danh mục máy bơm khô cỡ nhỏ của chúng tôi. mXDS3 tiếp tục trải nghiệm bơm cuộn...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 167

Bơm hút chân không khô cánh dạng móng vuốt nEDC300

Mã sản phẩm: nEDC300
Bơm hút chân không khô cánh dạng móng vuốt nEDC300

Bơm hút chân không khô cánh dạng móng vuốt nEDC300

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 202

Bơm hút chân không trục vít khô EDS300

Mã sản phẩm: A41830945
Bơm hút chân không trục vít khô EDS300

Máy bơm chân không trục vít khô EDS 300 P/N : A41830945 Một tiêu chuẩn mới trong thị trường vít khô Một cỗ máy thay đổi...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 299

Bơm chân không trục vít khô Edwards, dòng EXS

Mã sản phẩm: EXS750
Bơm chân không trục vít khô Edwards, dòng EXS

Bơm chân không trục vít khô Edwards, dòng EXS Lưu lượng lớn hiệu suất cao phù hợp cho các ứng dụng công nghiệp khắc...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 932

Bơm chân không khô hóa chất CXS160

Mã sản phẩm: cxs160
Bơm chân không khô hóa chất CXS160

Chứng nhận ATEX / Chứng nhận bằng chứng cháy nổ CXS được chứng nhận ATEX, với độ an toàn trong xây dựng và khả...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 903

Máy bơm chân không khô hóa chất CDX1000

Mã sản phẩm: CDX1000
 Máy bơm chân không khô hóa chất CDX1000

Khi bạn làm việc trong các ứng dụng quan trọng, bạn cần một máy bơm đáng tin cậy. Máy bơm CDX100 là một cỗ máy...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 833

Bơm hút chân không khô cho hóa chất Edwards EDP400

Mã sản phẩm: EDP400
Bơm hút chân không khô cho hóa chất Edwards EDP400

Máy bơm chân không EDP được kiểm soát nhiệt độ cho các điều kiện hoạt động tối ưu - nóng cho các ứng dụng ăn...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 843

Bơm hút chân không Edwards nXRi

Mã sản phẩm: Edwards nXRi
Bơm hút chân không Edwards nXRi

Thiết kế nhỏ gọn. Tối ưu hóa không gian của bạn! Được thiết kế với kích thước phù hợp, kích thước nhỏ gọn...

Giá: Liên hệ
Lượt xem: 1797
arrow
phone 0915 933 355