Bơm hút chân không Turbo Edwards dòng STP-iXA3306C

Mô tả :

Máy bơm phân tử tuabin bay từ tính sê-ri STP-iXA3306 cung cấp hiệu suất hàng đầu trong ngành và kết hợp nguồn điện nhỏ vào bộ điều khiển trên bo mạch - công nghệ mới nhất của sê-ri STPiXA3305 đã được thành lập.

Chiều cao của máy bơm bằng STP-XA2703 / XA3203 và cũng bằng chiều cao của dòng STP-iXA3305 không có nguồn điện (iPS-1200). Sản phẩm tích hợp đầy đủ này cung cấp khả năng cài đặt dễ dàng và sử dụng nhỏ gọn như một giải pháp tất cả trong một cho tất cả các công cụ ứng dụng. Một số các biến thể của dòng bơm này bao gồm các Model và P/N :

 ( STP-iXA3306C ISO250F ; P/ N YT820Z020 ) , ( STP-iXA3306C VG300 ; P/N YT820Z050 )

(STP-iXA3306C VG250 ; YT820Z030 ) ,

( STP-iXA3306C ISO250F with Profibus  P/N : YT820Z060 )

( STP-iXA3306C ISO320F ; P/N : YT820Z040 ) ,

 (STP-iXA3306C ISO320F with Profibus P/N : YT820Z070 )

Các ứng dụng:

Plasma etch (hóa chất clo, flo và brom) cho kim loại (nhôm), vonfram và phương ngữ (oxit) và polysilicon

Cộng hưởng điện tử cyclotron (ECR) etch

Lắng đọng phim CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD, Phún xạ