Bơm hút chân không khô Edwards GX600N , dòng máy bơm hút chân không khô GX có tính năng vượt trội như : Khoảng thời gian bảo dưỡng định kỳ dài hơn, tiết kiệm năng lượng, và hoạt động liên tục ở độ chân không khác nhau. GX được kết nối Ethernet

Công nghệ của dòng bơm GX tiết kiệm 40% năng lượng với chi phí tiện ích trên toàn bộ fab , chi phí này đã được xác nhận trên một fad 300 mm ở Mỹ chứa 200 công cụ , 537 máy bơm , dòng bơm GX 70% , dòng bơm iH 30%, động cơ hiệu suất cao .Chế độ chờ nguồn thấp hơn bằng Active Utility Control (AUC)

Sự pha loãng nitơ có thể được điều chỉnh theo yêu cầu ứng dụngGiảm thiểu việc sử dụng gasLàm mát hiệu quả cao,Vật liệu dẫn điện cao và thiết kế tốt cho phép dòng nước thấp,Vòng bi gốm chính xác,Khả năng tải rất cao cho độ tin cậy,Độ ồn và độ rung thấp,Kết nối Ethernet

Sê-ri GX bao gồm chức năng phục vụ web độc đáo cho phép xem các tham số chính thông qua trình duyệt và kết nối Ethernet đơn giản. Bất kỳ người dùng nào cũng có thể chỉ cần kết nối với máy bơm để xem một loạt thông tin, chẳng hạn như:Tình trạng hoạt độngCác thông số quan trọng,Điểm đặt tham số,Tóm tắt cảnh báo,Các ứng dụng,Khóa tải,chuyển khoản,Đo lường,Thuật in,Quy trình PVD,PVD làm sạch trước,RTA,Dải / Asrial,Ôxít EtchKim loại khắc,Nguồn cấy ghép