Bơm hút chân không khô tốc độ cao Edwards EPX180NE P/N : A41944414

Giới thiệu chung về EPX

Dòng EPX sử dụng cơ chế giai đoạn tái sinh / Holweck® trục đơn, được cấp bằng sáng chế độc đáo,chúng có khả năng bơm từ khí quyển đến áp suất tối đa <1x10-4 mbar hoặc <1x10-6 mbar tùy thuộc vào kiểu máy. Chúng lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu áp suất cơ bản tốt hơn so với áp suất cơ bản có thể được cung cấp bởi một máy bơm sơ cấp điển hình và nếu không thì cần phải có máy bơm phân tử tuabin và máy bơm sơ cấp và cũng cho các ứng dụng thường xuyên quay vòng từ khí quyển đến áp suất thấp vì chúng có thể hoạt động liên tục ở tất cả các áp suất đầu vào.

Công nghệ

Hệ thống bơm EPX hoạt động ở áp suất giữa khí quyển và chân không cuối cùng, không có chất lỏng bôi trơn hoặc làm kín trong buồng bơm. Điều này đảm bảo một hệ thống bơm sạch mà không có sự di chuyển ngược trở lại của dầu hoặc chất lỏng vào hệ thống.

Stator của máy bơm và động cơ kèm theo được làm mát bằng mạch làm mát nước tích hợp. Do đó, máy bơm EPX thích hợp cho các ứng dụng trong môi trường phòng sạch, nơi không thể chấp nhận việc làm mát bằng quạt gió . Các đường ống cấp và hồi nước làm mát được nối với máy bơm bằng các đầu nối nước (do khách hàng chỉ định). Nước làm mát phải được cung cấp tương xứng với điều kiện môi trường (độ ẩm và nhiệt độ) sao cho không đạt được điểm sương.

Máy bơm kết hợp bộ lọc nguồn cung cấp EMC và bộ truyền động biến tần, cung cấp và điều khiển việc cung cấp điện cho động cơ máy bơm. Đèn LED trên nắp trước xác định trạng thái của máy bơm EPX. Tốc độ động cơ phụ thuộc vào áp suất ở đầu vào máy bơm. Khi máy bơm được khởi động với áp suất đầu vào bằng hoặc gần bằng áp suất khí quyển, động cơ tăng tốc đến tốc độ bị giới hạn bởi dòng điện có thể được cung cấp bởi biến tần. Khi áp suất ở đầu vào giảm, tốc độ động cơ tăng lên, cho đến khi cuối cùng nó đạt đến tốc độ tối đa đặt trước. Nếu áp suất ở đầu vào tăng lên, động cơ sẽ chạy chậm lại.

Loạt máy bơm EPX NE có thể được vận hành thủ công bằng cách sử dụng bàn phím và màn hình cục bộ Điều khiển người dùng cuối (EUC), hoặc sử dụng từ xa bằng Thiết bị đầu cuối hiển thị máy bơm (PDT), nếu được trang bị; nó cũng có thể được điều khiển và giám sát qua mạng, kết nối với máy bơm EPX thông qua đầu nối Mạng. Khi dòng máy bơm EPX LE được điều khiển thông qua Mô-đun Giao diện Công cụ (TIM), EUC chỉ cần theo dõi trạng thái của máy bơm.

Máy bơm EPX tương thích với Fabworks 32.

Máy bơm EPX được hỗ trợ bởi bốn bộ giảm chấn

Cảm biến bảo vệ máy bơm tự động tắt máy bơm nếu phát sinh tình trạng lỗi.

Các ứng dụng

Hệ thống Load Lock

Module truyền dẫn

PVD phún xạ

Ashing / PR Strip

Dieletric Etch

Công nghiệp bán dẫn

Dòng EPX bao gồm một loạt các ứng dụng từ xử lý wafer đến các quy trình làm việc trung bình.

Dòng EPX ‘N’ bao gồm một mô-đun khí cung cấp khả năng thanh lọc Nitơ mở rộng phạm vi ứng dụng cho các quy trình trung bình trong đó dự kiến ​​sẽ có mức độ hơi và hạt ăn mòn thấp.

ATL là đại diện thương hiệu bơm Edwards tại Việt Nam , chúng tôi cung cấp sản phẩm mới, dịch vụ bảo trì sửa chữa tại Việt Nam mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ Hotline : 0915 933 355

Thông số kỹ thuật EPX180NE P/N : A41944414